Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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      Nanotechnikum
Martin-Luther-Universität
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
D-06120 Halle, Germany
Tel.: +49 345 55 28471
Telefax:+49 345 55 27390 email: info@cmat.uni-halle.de

Nutzer:

Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Halle
Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik Freiburg/Halle


Spezifikation:

210 m² Reinraum Klasse 100 (ISO 5), lokal Klasse 10,
410 m² Grauraum Klasse 10000 (ISO 7)

Temperatur: 20,5±1 °C (im Bereich Elektronenstrahllithographie ±0,1 °C)
relative Feuchte: 42,5±5 %
Druckgefälle: Reinraum-Grauraum 40 Pa, Grauraum-Außenbereich 5 Pa,
Luftwechsel: 150/h (im Bereich Elektronenstrahllithographie 290/h)

Ansprechpartner: Privatdoz. Dr. Hartmut S. Leipner


Gaselager (außen) Technikzentrale Elektro Gaselager Grauraumschleuse Reinraumschleuse Zone A: Plasmaätzen Zone B: Thermische Behandlung und Beschichtung Zone C: Waferreinigung Zone D: Ätzstrecke Zone E: Belackung Zone F: Photolithographie und Charakterisierung Zone G: Elektronenstrahllithographie Grauraum



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